中圖儀器SuperViewW國產(chǎn)3D光學(xué)輪廓儀基于白光干涉原理，以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸?？蓽y各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。 SuperViewW國產(chǎn)3D光學(xué)輪廓儀具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點，測量單個精細(xì)器件的過程用時短，確保了高款率檢測。的特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測量。針對完成樣品超光滑凹面弧形掃描所需同時滿足的高精度、大掃描范圍的需求，SuperView W1的復(fù)合型EPSI重建算法，解決了傳統(tǒng)相移法PSI掃描范圍小、垂直法VSI精度低的雙重缺點。在自動拼接模塊下，只需要確定起點和終點，即可自動掃描，重建其超光滑的表面區(qū)域，不見一絲重疊縫隙。

技術(shù)參數(shù)：
部分技術(shù)指標(biāo) 型號 W1 光源 白光LED 影像系統(tǒng) 1024×1024 干涉物鏡 標(biāo)配：10× 選配：2.5×;5×;20×;50×;100× 光學(xué)ZOOM 標(biāo)配：0.5× 選配：0.375×;0.75×;1× 物鏡塔臺 標(biāo)配：3孔手動 選配：5孔電動 XY位移平臺 尺寸 320×200㎜ 移動范圍 140×100㎜ 負(fù)載 10kg 控制方式 電動 Z軸聚焦 行程 100㎜ 控制方式 電動 Z向掃描范圍 10 ㎜ 主機尺寸（長×寬×高） 700×606×920㎜

使用說明：
產(chǎn)品功能 (1)設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能； (2)測量中提供自動對焦、自動找條紋、自動調(diào)亮度等自動化輔助功能； (3)測量中提供自動拼接測量、定自動多區(qū)域測量功能； (4)分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區(qū)域提取等四模塊的數(shù)據(jù)處理功能； (5)分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五分析功能； (6)分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。 典型結(jié)果 表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，臺階高度，錐角等等） 幾何特征（關(guān)鍵孔徑尺寸，曲率半徑，特征區(qū)域的面積和體積，特征圖形的位置和數(shù)量等等）